PFA花籃（PFAwaferCassette）又名清洗花藍，特氟龍卡匣，特氟龍晶舟盒，特氟龍晶圓盒為承載半導(dǎo)體晶圓片/硅片的容器，耐酸耐堿耐腐蝕(強酸、強氟酸、強堿)，能做激光雕刻，能夠安裝RFID。保持載體和物料的跟蹤。